MEMS（微机电系统）是利用IC工艺在硅晶圆上制备的微机电系统，包括光刻、离子束刻蚀等工艺。生活中常见的MEMS器件有MEMS马达、MEMS陀螺仪、MEMS麦克风等。MEMS陀螺仪在智能手机转屏功能中发挥重要作用，而MEMS加速度计则用于安全气囊的快速检测。MEMS技术在汽车、智能手机、智能家居等领域得到广泛应用。